几种常见压力传感器的特点:
扩散硅压力传感器:技术成熟,使用广泛,性价比高,表压测量为主流,另有少量绝压,抗过载和抗冲击能力强,但是只能测量120℃以下的介质。微量程精度略低;
陶瓷压阻压力传感器:具有测量的高精度、高稳定性。电器绝缘程度大于2KV,输出信号强,长期稳定性好。,微量程和大量程不做选择,只适用于表压测量。
单晶硅压力传感器:宽测量范围,精度高,工作温度宽,稳定性好,静压特性极佳,具有良好的单向受压特性。
电容式压力传感器:低的输入力和侏儒能量,高动态响应,小的自然效应,环境适应性好。
蓝宝石压力传感器:主要优点是可以测量高温介质,对温度变化不敏感。及时在高温漂在这几类传感器中最低。蓝宝石可以最大量程到160MPa,而扩散硅的最大量程为35MPa。
石英晶体压力传感器:高频响压力传感器,反应迅速,数字输出稳定可靠,具有抗干扰性强,适宜于远距离传输,消除了模拟数字转换这一复杂环节及其造成的误差。
溅射薄膜压力传感器:突出特点是受温度影响小,在温度变化100℃时,零点漂移仅为0.5%,其温度性能远优于扩散硅,能够在恶劣环境条件下使用等特点。
应变式压力传感器:应用最为广泛的是应变式压力传感器,它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。电阻应变片主要有金属和半导体两类,金属应变片有金属丝式、箔式、薄膜式之分。半导体应变片具有灵敏度高、横向效应小等优点。