如何解决微压力传感器灵敏度和非线性的矛盾

　　在压力传感器中微压力传感器是其中一个主要的分支。传感器的灵敏度和线性度是传感器最重要的性能特征。特别是对于超微压力传感器而言。小量程的微压力传感器的灵敏度和线性度一直是阻碍微压力传感器发展的一大因素。
　　为了解决微压力传感器灵敏度和非线性的矛盾,在结构上,综合梁膜结构与平膜双岛结构的优点,采用双岛-梁结构。岛区的面积不是按比例放大或缩小。首先，为了增加灵敏度，应尽可能减小窄梁区的长度和宽度。因为从对梁-膜-岛结构的有限元分析和近似解析分析中发现，减小窄梁区的长度和宽度可以明显地使梁上的应力增大。并且当中间窄梁的长度约为两边窄梁长度的2倍时，器件的线性度最好。